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洁净室环境内空气洁净度的技术要求

2018-08-22 16:28:33阅读数:

  洁净室环境内空气洁净度的技术要求

  ISO 14644的本部分指定ISO分级的各级别,以此作为洁净室及相关受控环境内空气洁净度的技术要求.本部分不仅确定了空气中悬浮粒子测试的程序,而且确定了测试的标准方法.

洁净室环境内空气洁净度的技术要求
  ISO 14644的本部分为无尘车间和污染控制系列标准中的一个标准.除悬浮粒子洁净度之外,还有许多因素必须在洁净室及其受控环境的设计、技术要求、运行和控制中予以考虑.
洁净室环境内空气洁净度的技术要求
  为划分等级,ISO 14644的本部分仅限于确定粒子浓度限值用的指定的粒径范围.本部分还提供了标准协议,以依据大于或小于指定分级用粒径范围的悬浮粒子浓度等级标识.
洁净室环境内空气洁净度的技术要求
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